1.1 儀器特點
Ø 多參數(shù)測量：Ra、Rq、Rsm、Rsk、Rz、Rt、Rp、Rv、Rc；
Ø 高精度傳感器；
Ø GAUSS濾波器；
Ø 符合ISO4287；
Ø 128×64 點陣OLED，白字；
Ø 內(nèi)置鋰離子充電電池，容量高、無記憶效應，連續(xù)工作時間大于20小時；
Ø 機電一體化設計，體積小，重量輕，使用方便；
Ø 具有自動關機、記憶及各種信息；
Ø 可選配曲面?zhèn)鞲衅鳌⑿】讉鞲衅鳌y量平臺、接長桿等附件。
1.2 儀器參數(shù)：
1、 傳感器
Ø 檢測原理： 電感式
Ø 測量范圍： 200μm
Ø 針尖半徑： 5μm
Ø 針尖材料： 金剛石
Ø 觸針測力： 4mN(0.4gf)
Ø 觸針角度： 90°
Ø 導頭縱向半徑：45mm
2、 驅(qū)動參數(shù)
Ø 最大驅(qū)動行程： 15mm
Ø 驅(qū)動速度： 測量時 當取樣長度= 0.25mm Vt=0.135mm/s
當取樣長度= 0.8mm Vt=0.5mm/s
當取樣長度= 2.5mm Vt=1mm/s
返回時 V=1mm/s
Ø 示值誤差：不大于±10% ，示值變動性：不大于6%
2 認識儀器：
